利用扫描电子显微镜 (简称扫描电镜) 对样品微细结构的形态、大小和分布进行观察的现代科学研究手段。扫描电镜具有分辨率高、放大倍数可变范围大、观察视场大、景深长等特点,所以图像立体感强、样品适应性大以及样品受辐射损伤小。在生物学、医学、农业科学及非生物科学领域中都得到广泛的应用。若加上特殊的附件,成为分析电子显微镜,就不仅能够获得样品形态结构信息,而且能用来分析样品的化学组成。
扫描电镜基本结构 由电子光学系统、真空系统、图像信号检测器、图像显示与记录系统、电源系统及其他附属部件组成。
电子光学系统 即镜筒,由电子枪、合轴线图、聚光镜、物镜 ......
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